XPS・AES複合機
概要
SEM/EDS分析では難しかった試料最表面数ナノメートルの厚み領域における元素分析・化学状態分析が可能となります。
特長
● 試料最表面の分析が可能(情報深さ0.5～6nm)
● XPS:有機・無機の表面分析/化学状態分析(X線)
● AES:無機の微小部(<100nm)元素分析(電子線)
実際の分析時と同じX線で励起された光電子像を用いるため、正確な分析位置の特定・確認を短時間で行なうことができます。
事例紹介
《はんだ濡れ不良の解析例》
はんだが正常に濡れたものとはじきが見られたもので、表面の元素組成が異なっていることをXPSで確認。
その他の観察事例はこちらをご覧下さい▼
XPS・AES解析事例および設備概要(PDF)
設備機器紹介
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XPS・AES複合機
