分析・故障解析
Analysis
分析・故障解析

AFMによるnmオーダで試料表面の凹凸状態を計測することで、材料開発に役立てることができます。

概要

AFM(Atomic Force Microscope)は、nmオーダの針(プローブピン)を用いて試料表面の凹凸状態を計測することによって表面の粗さを測定することができます。
材料の表面をnmオーダで粗くすることによって、密着性を良くするなどの材料開発に役立てることができます。

特長

1. nmオーダで表面凹凸を測定可能です。
2. 測定データから、表面粗さを数値化できます
3. 表面積測定が可能です。
4. 特定位置の断面形状を測定できます。

分析原理

SPM(Scanning Probe Microscope:走査型プローブ顕微鏡)とは、探針(プローブ)で試料表面を走査し、表面形状を観察する装置の総称です。
試料表面の形態を測定するために原子間力を用いるものを特にAFM(Atomic Force Microscope:原子間力顕微鏡)と呼称します。
主に表面形態(凹凸情報)を観察するのに用いられます。表面形態を観察するには他にレーザ顕微鏡が使用されますが、こちらはスポット径の問題からサブミクロンオーダの凹凸を対象にしますが、SPMではプローブの形状に応じてナノオーダの凹凸が観察できます。
また、プローブや走査方法を変えることで、試料硬さの測定や電位状態などの観察も可能です。

設備紹介

走査型プローブ顕微鏡 島津製作所製 SPM-9600
 
・理論分解能:水平:0.2nm,垂直:0.01nm
・最大走査範囲 30×30µm2

分析用途

・試料の表面凹凸状態測定
・表面粗さ測定(数値化)
・断面形状測定