わずか数分の高速動作、高感度、低ノイズを兼ね備えたEBSD検出器を導入しました。
従来のEBSDと比較して約20倍のスピードでEBSDイメージ作成
必要な解像度はそのままに、高速動作でEBSD分析が可能です。
特急案件にも対応可能ですので、お待たせすることなくイメージマップのご提供が可能となります。
性能は、対称性が低いサンプル、マルチフェーズ、変形構造を含む幅広い範囲の材料にまで及びます。
材料分析に必要なデータ品質で、実サンプルにおいても高速のデータ収集ができます。
※EBSDとは、こちらをご覧ください。
従来型との結果比較
●従来型EBSD Camera
試料：Cu線
加速電圧：15kV
Scan Area：185 x 283mm、Step Size：1.0mm
測定時間：約40分
●新型Velocity(TM) EBSD Camera
試料：Cu線
加速電圧：15kV
Scan Area：185 x 283mm、Step Size：1.0mm
測定時間：約2.5分
※新型の方が、Gainを上げてもノイズに強い結果となりました。
（画像内の黒色部位をご参照ください。）
下図左：従来型 右：新型
主な仕様
●Velocity(TM) EBSD Camera
・ハイスピード, 低ノイズのCMOS センサー使用のVision Research社製カメラを採用
・CMOSセンサー解像度：640 x 480
・超高感度専用レンズの採用
・4,500 点/秒の測定を実現（120×120 binning / High Speed モード 使用時）
※弊社ではSU7000（日立ハイテク製）でのサービスご提供となります。
設備機器紹介
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FE-SEM/EBSD
