微細加工
Micro
Fabrication

加工対象物を選ばない新工法「レーザデスミア」

概要

無機・有機に関わらず、加工対象物を選ばないフェムト秒グリーンレーザならではの新工法“レーザデスミア”をご提案します。

特徴

耐薬品性が高い材料(フッ素系樹脂・アクリル系樹脂など)や、薬品に弱い材料は湿式でのデスミア処理が難しく、乾式デスミアでは製品全体が処理されてしまうため、特定の部分のみを処理したい場合には不向きで、時間もかかります。
材料表面や内層銅箔に残留しているスミアに対して、フェムト秒グリーンレーザで直接加工すれば、確実にかつ短時間でのデスミア処理が可能となります。

レーザデスミアの例

耐薬品性の低い材料が表面に塗布された基板をCO2レーザで加工しました。
内層銅箔の表面に残ったスミアの除去が、湿式・乾式共にデスミアの適用ができなかったため、フェムト秒グリーンレーザを用いて銅箔開口部分のみに対してレーザ加工(内層銅箔を1μm程度切削)を施し、直接めっき処理可能な表面状態にすることができました。