機器一覧 DEVICE LIST

• X線透過観察装置
  X線透過観察（不良箇所の早期発見）
• 反り・変形計測システム
  試料に生じる反りやうねり、粗さの分析および測定
• SEM/SEM-EDS
• SEM/SEM-EDS
  EDS（エネルギー分散型Ｘ線分光法）による元素分析
• FE-SEM
• XPS・AES複合機
  XPS・AES複合機 X線光電子分光法を用いた分析手法
• FT-IR
  フーリエ変換-赤外分光法（FT-IR）による有機物分析
• 3Dマクロスコープ
  試料に生じる反りやうねり、粗さの分析および測定 3D形状測定（3Dマクロスコープ・レーザ顕微鏡）
• キーエンス製　VHX-8000
• TD-GC-MS